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真空泵維修渦旋式水環(huán)真空泵現(xiàn)狀和發(fā)展

該泵的徑向間隙具有易于密封和控制的優(yōu)點(diǎn)

　　渦旋水環(huán)真空泵的研究始于20世紀(jì)80年代末期。1988年，日本東京大學(xué)的MorishitaE研制了抽速為200L/min的立式自轉(zhuǎn)型油潤(rùn)滑渦旋水環(huán)真空泵，與公轉(zhuǎn)型渦旋真空泵相比，該泵的徑向間隙具有易于密封和控制的優(yōu)點(diǎn)。而渦旋泵與旋片泵相比，具有更高的容積效率，泵內(nèi)的振動(dòng)和噪聲水平都有所降低。此外，由于其結(jié)構(gòu)更緊湊，整機(jī)重量和體積分別減少了12%和40%。MorishitaE的研究表明了渦旋真空泵的高效性，并對(duì)如何消除余隙容積、控制間隙等提出了有效方法。隨著渦旋真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的不斷擴(kuò)大，人們開(kāi)始致力于干式渦旋真空泵的研究。干式渦旋真空泵與油潤(rùn)滑渦旋真空泵的區(qū)別在于泵腔內(nèi)不含任何的油類和液體。因此解決泵內(nèi)的密封和冷卻問(wèn)題，是干式渦旋真空泵研究的關(guān)鍵。1990年，KushiroT研制了抽速為600L/min的臥式干式渦旋真空泵。

　　該泵可以達(dá)到的極限壓力為5×10-3T。它采用水冷的方式解決泵內(nèi)各部件的潤(rùn)滑和冷卻等問(wèn)題。KushiroT的研究表明了干式渦旋真空泵的可行性，還有效地解決了動(dòng)靜盤(pán)熱力變形造成的相互接觸及離心力造成的動(dòng)盤(pán)振動(dòng)等問(wèn)題。雖然采用水冷方式可以有效地解決干式渦旋真空泵的冷卻問(wèn)題，但冷卻水回路的設(shè)置使其結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜。盤(pán)采用雙側(cè)渦圈結(jié)構(gòu)，主軸上裝有兩個(gè)冷卻風(fēng)扇，分別位于兩個(gè)靜盤(pán)的端部，主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)風(fēng)扇一起轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到對(duì)渦盤(pán)的冷卻效果。同時(shí)它采用了半封閉式結(jié)構(gòu)，解決了電動(dòng)機(jī)的冷卻問(wèn)題。2001年，我國(guó)東北大學(xué)與中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心聯(lián)合研制了該類型的干式渦旋真空泵，并于2003年初通過(guò)了國(guó)家真空設(shè)備質(zhì)量檢測(cè)中心的鑒定。此外，BOC公司也推出了一種采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻的干式渦旋真空泵，該泵采用全封閉式結(jié)構(gòu)，渦盤(pán)為單側(cè)渦圈結(jié)構(gòu)，冷卻風(fēng)扇安裝在靜盤(pán)的端部。

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